MANUFACTURE OF HIGH PRECISION ELECTRONIC COMPONENTS WITH ULTRA-HIGH PURITY LIQUIDS

摘要

On traite des tranches de semi-conducteurs ainsi que d'autres pièces électroniques nécessitant également des environnements de production d'une très grande pureté au moyen d'agents liquides de nettoyage et de gravure d'une très grande pureté préparés sur le site d'utilisation à partir de matières premières gazeuses, lesquelles ont été purifiées jusqu'à un niveau compatible avec les normes de production de semi-conducteurs, et combinées, lorsque cela est approprié, à de l'eau ultrapure.