| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen einer Eigenschaft einer Halbleiterprobe. Das Verfahren umfasst die Verfahrensschritte: Beleuchten eines Bereichs der Oberfläche der Halbleiterprobe gleichzeitig mit überlagerten anregenden Lichtbündeln einer Mehrzahl von Wellenlängen, Modulieren der Lichtbündel der verschiedenen Wellenlängen mit der gleichen Frequenz aber mit unterschiedlichen Phasen, Wählen der Modulationsfunlaionen und Phasen derart, dass die Summe der Photonenflüsse aller Lichtbündel stets innerhalb eines Schwankungsbereich liegt, der wesentlich kleiner als die Summe der Photonenflüsse ist, gleichzeitiges phasenabhängiges Messen der durch die verschiedenen Lichtbündel hervorgerufenen Komponenten der OberflächenPhotospannung und Bestimmen der Eigenschaft der Halbleiterprobe aus den Zusammenhängen zwischen den Komponenten und den zugehörigen Wellenlängen. Weiterhin wird eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens beschrieben.</p> |
