| 摘要 |
포토닉 디바이스 어셈블리는 내부에 제작되는 물리적 정렬 피처를 가지는 칩 기판 상에 제작되는 포토닉 디바이스 및 외부 광학 렌즈 또는 상호 접속을 포토닉 디바이스에 결합시키는 프레임을 포함한다. 프레임은 물리적 정렬 피처의 상보적 면에 인접하는 프레임 면을 가진다. 접착제는 인접된 면들에 의해 정렬되는 바대로 프레임을 포토닉 디바이스에 영구적으로 부착시킨다. 포토닉 디바이스 어셈블리를 형성하는 방법은 포토닉 디바이스의 칩 기판에 물리적 정렬 피처를 미세 제작하는 단계와 상기 커플링의 면을 제작된 물리적 정렬 피처의 상보적인 면에 인접함으로써 프레임을 칩 기판에 접합하는 단계를 포함한다. |
