发明名称 METHOD FOR FORMING ALLOY CONTAINING EASILY EVAPORABLE COMPONENT
摘要
申请公布号 JPS5983914(A) 申请公布日期 1984.05.15
申请号 JP19820191054 申请日期 1982.10.29
申请人 FUJITSU KK 发明人 TAKIGAWA HIROSHI;ITOU MICHIHARU;MARUYAMA KENJI
分类号 C01B19/04;C01B19/00;C30B29/48;H01L21/368 主分类号 C01B19/04
代理机构 代理人
主权项
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