发明名称 |
METHOD FOR FORMING ALLOY CONTAINING EASILY EVAPORABLE COMPONENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5983914(A) |
申请公布日期 |
1984.05.15 |
申请号 |
JP19820191054 |
申请日期 |
1982.10.29 |
申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
TAKIGAWA HIROSHI;ITOU MICHIHARU;MARUYAMA KENJI |
分类号 |
C01B19/04;C01B19/00;C30B29/48;H01L21/368 |
主分类号 |
C01B19/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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