| 发明名称 |
PROCESSING OF NITRIDATION TITANIUM TO IMPROVE RESISTANCE FORHIGH TEMPERATURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08330256(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19960084597 |
申请日期 |
1996.03.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
KENII KINGUUTAI NUGAN;RODERITSUKU SHII MOSERII |
| 分类号 |
C01B21/076;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C01B21/076 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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