| 主权项 |
1.一种资料通讯方法,该方法系用于连结至一测试器之一探测装置之资料通讯以及量测多个欲测试物件之电气特征,该方法包含下列步骤:于进行物件电气特征之测试前,由探测装置以成批方式传输测量物件之电气特征需要的测量资料至测试器;及于其中二或多个物件之电气特征已经测量后,以成批方式传输其中二或多个物件之测量结果资料由测试器至探测装置。2.如申请专利范围第1项之资料通讯方法,其中该测量资料以及测量结果资料系透过乙太网路传输。3.如申请专利范围第1项之资料通讯方法,其中较佳于测量二或多个物件之电气特征之前已及之后,透过TTL介面线以及GP-IB线中之至少一者介于测试器与探测装置间传输预定信号。4.如申请专利范围第2项之资料通讯方法,其中较佳于测量二或多个物件之电气特征之前已及之后,透过TTL介面线以及GP-IB线中之至少一者介于测试器与探测装置间传输预定信号。5.如申请专利范围第1项之资料通讯方法,其中于其中二或多个物件之电气特征被测量前,一测量开始信号由探测装置透过TTL介面线传输至测试器,以及于其中二或多个物件之电气特征被测量后,一测量结束信号由测试器透过TTL介面线传输至探测装置。6.如申请专利范围第2项之资料通讯方法,其中于其中二或多个物件之电气特征被测量前,一测量开始信号由探测装置透过TTL介面线传输至测试器,以及于其中二或多个物件之电气特征被测量后,一测量结束信号由测试器透过TTL介面线传输至探测装置。7.一种介于一探测装置与一测试器间之资料通讯系统,该资料通讯系统包含一网路用以以成批方式由探测装置传输测量多个欲测试物件之电气特征需要的测量资料至测试器,以及以成批方式由测试器传输多个物件之测量结果资料至探测装置。8.如申请专利范围第7项之资料通讯系统,其中该网路为乙太网路。9.如申请专利范围第7项之资料通讯系统,其中该网路包含TTL介面线以及GP-IB线中之至少一者,可于其中二或多个物件之电气特征测量之前以及之后介于测试器与探测装置间传输预定信号。10.如申请专利范围第8项之资料通讯系统,其中该网路包含TTL介面线以及GP-IB线中之至少一者,可于其中二或多个物件之电气特征测量之前以及之后介于测试器与探测装置间传输预定信号。11.如申请专利范围第7项之资料通讯系统,其中该网路包含一TTL介面线,透过该线于多个物件中二或多物件的电气特征被测量之前,一测量开始信号由探测装置传输至测试器;以及透过该线于其中二或多个物件的电气特征被测量后,一测量结束信号由测试器传输至探测装置。图式简单说明:第1图说明根据本发明之具体实施例之资料通讯系统之技术构想;第2图为流程图说明使用第1图所示资料通讯系统之一种资料通讯方法;第3图为视图显示其上形成多个IC之一晶圆W;第4图显示习知探测装置与测试器间之结构关系;以及第5图说明根据本发明之另一具体实施例之资料通讯系统之技术构想; |
