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发明名称
REALISIERUNGSMETHODE EINER DÜNNSCHICHT AUS FESTEM MATERIAL UND ANWENDUNG DIESER METHODE
摘要
申请公布号
DE69701571(D1)
申请公布日期
2000.05.04
申请号
DE19976001571
申请日期
1997.05.13
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS
发明人
BRUEL, MICHEL;ASPAR, BERNARD
分类号
H01L21/8247;C23C14/00;C23C14/48;C23C14/58;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;H01L27/12;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):C23C14/00
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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