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发明名称 TITANIUM TUNGSTEN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR0167610(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19940035430 申请日期 1994.12.20
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 CHOE, KYUNG-KEUN
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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