| 摘要 |
본 발명은 패턴 형성시 사용되며, UV LED를 광원으로 사용하여 확산광을 최소화시키고 광 차폐율을 일정하게 유지함으로써 노광 효율과 노광 품질이 향상되도록 한 노광장치에 관한 것으로서, 기판이 놓이는 스테이지와; 상기 스테이지와 이격 배치되어 상기 스테이지에 광을 조사하는 광모듈과; 상기 스테이지 또는 광모듈을 제1방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하는 노광장치에 있어서, 상기 광모듈은, 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 연장 형성되며 일정 간격으로 배치된 UV LED가 구비된 광원부와, 상기 스테이지와 광원부 사이에 배치되어 상기 광원부에서 조사되는 광 중에서 확산광을 제거하도록 상기 스테이지를 향해 연장 형성되는 복수의 광통으로 이루어진 광정렬부재를 포함하고, 상기 광원부의 UV LED는 삼각형 또는 평행사변형 형상의 단면 형상을 갖는 각각의 광통에 1:1로 대응하도록 배치되는 것을 특징으로 한다. |
