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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1092822(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960240772 申请日期 1996.09.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJISAKI YASUNORI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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