静电电容式传感器

摘要

本发明的静电电容式传感器在基板(20)上形成电容元件用电极(E1～E5)及接地的基准电极(E0)。在与这些电极(E0～E5)对置的位置上，伴随从外部操作的检测部件(30)在Z轴方向移动，配置在Z轴方向位移的位移电极(40)。位移电极(40)在与电容元件用电极(E1～E5)及基准电极(E0)之间，分别构成电容元件(C0～C5)。各电容元件(C1～C5)相对于从外部输入的信号成为分别与电容元件(C0)串联连接的关系，通过用具有磁滞特性的信号处理电路检测出检测部件(30)移动时的电容元件(C1-C5)的静电电容值的变化，能够识别检测部件(30)的位移。

主权项

1.一种静电电容式传感器，其特征在于:具有:基板，在定义XYZ三维坐标系时，规定XY平面；检测部件，与上述基板对置；导电性部件，位于上述基板与上述检测部件之间，随着上述检测部件在Z轴方向位移而在Z轴方向上位移；电容元件用电极，形成在上述基板上，在与上述导电性部件之间构成第1电容元件；以及基准电极，形成在上述基板上，在与上述导电性部件之间构成第2电容元件，接地或保持在恒定电位，上述第1电容元件与上述第2电容元件相对于对上述电容元件用电极输入的信号成为串联连接的关系，基于检测由于上述导电性部件与上述电容元件用电极之间的间隔变化而引起的上述第1电容元件的静电电容值的变化，可识别上述检测部件的位移，具有成对的2个上述电容元件用电极，基于分别输入到包含这一对电容元件用电极的一方的电路及包含另一方的电路中的信号的模拟信号，在分别通过具有磁滞特性的信号处理电路之后被输入到逻辑元件中，并从上述逻辑元件输出输出信号，上述信号处理电路是输入信号增加时的阈值与输入信号减小时的阈值不同的电路。