曝光方法及曝光装置

摘要

提供一种能容易的进行标线片交换及温度管理之曝光方法及曝光装置。真空标线片收纳库64中，设有用以装载送来之标线片的复数层台68。此台68内，形成有流路68a。藉由在台68之流路 68a中流入温度调整过的水，即能进行台上标线片之温度调节。另一方面，大气标线片收纳库66中，设有复数层之台69。于各台69上，分别装载标线片盒67。标线片盒67及各标线片上，附有条码70。搬送标线片时，可读取标线片上所附之条码70，来确认搬送之标线片。