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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04262351(A) 申请公布日期 1992.09.17
申请号 JP19910022051 申请日期 1991.02.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO AKIO;OKUBO KAZUO
分类号 H01J37/153;H01J37/22;H01L21/66 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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