| 发明名称 |
Exposure apparatus for forming image |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5258808(A) |
申请公布日期 |
1993.11.02 |
| 申请号 |
US19920925753 |
申请日期 |
1992.08.07 |
| 申请人 |
ORC MANUFACTURING CO., LTD. |
发明人 |
WATANUKI, MINORU |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03B27/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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