发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0637035(A) |
申请公布日期 |
1994.02.10 |
申请号 |
JP19920189600 |
申请日期 |
1992.07.16 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KASAI YOSHIO;MIKATA YUICHI;MIYAZAKI SHINJI;MORIYA TAKAHIKO |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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