发明名称 ION IMPLANTER AND ITS CONTROLLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02101162(A) 申请公布日期 1990.04.12
申请号 JP19880253442 申请日期 1988.10.06
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAGAI NOBUO
分类号 C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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