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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER DEFECT INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0661324(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920130355 申请日期 1992.05.22
申请人 NEC CORP 发明人 KOMATSU ATSUSHI
分类号 G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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