| 发明名称 |
CANTILVER AND ITS MANUFACTURE, AND MANUFACTURE OF MEMBER HAVING SHARPENED PART |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1090289(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
| 申请号 |
JP19970123147 |
申请日期 |
1997.04.25 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKANO KATSUSHI;SUZUKI YOSHIHIKO;IRITA TAKESHI |
| 分类号 |
G01B21/30;C23F1/00;G01N37/00;G01Q60/38;G01Q70/10;G01Q70/16;H01L21/306;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
