发明名称 SELF-ALIGN CONTACT ETCH IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010096862(A) 申请公布日期 2001.11.08
申请号 KR20000019823 申请日期 2000.04.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 AHN, TAE HYEOK;KIM, HYEON U;KIM, JI SU
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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