发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Verbinden von Komponenten
摘要 <p>Eine Vorrichtung zum Verbinden von mindestens zwei Komponenten (3, 2, 21, 22, 23, 1, 11, 12, 13) enthält ein Unterwerkzeug (95) und ein Oberwerkzeug (96). Das Unterwerkzeug (95) weist die Komponenten (3, 2, 21, 22, 23, 1, 11, 12, 13) auf, die verbunden werden sollen, wobei eine erste Komponente (3) mindestens eine zweite Komponente (2, 21, 22, 23, 1, 11, 12, 13) mit einem zumindest teilweisen Überlapp relativ zur ersten Komponente (3) trägt. Das Unterwerkzeug (95) und das Oberwerkzeug (96) können relativ zueinander bewegt werden. Das Oberwerkzeug (96) trägt mindestens zwei heizbare Stempel (7, 8, 15, 16, 71, 72, 81, 82, 83), die verbunden sind, damit sie sich relativ zueinander über ein abgedichtetes Druckkissen (5) bewegen können. Die Stempel (7, 8, 15, 16, 71, 72, 81, 82, 83) und das Druckkissen (5) weisen eine erste flexible Schicht (6) zwischen sich auf. Eine zweite flexible Schicht (19) ist zwischen dem Oberwerkzeug (96) und dem Unterwerkzeug (95) angeordnet.</p>
申请公布号 DE102007047698(A1) 申请公布日期 2008.04.17
申请号 DE20071047698 申请日期 2007.10.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KEMPER, ALFRED;SPECKELS, ROLAND
分类号 H01L21/58;H01L21/60 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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