| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überprüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems einer Vakuumpumpe, vorzugsweise einer Turbomolekularpumpe, welches mittels eines Magnetlagers (14, 15) im Gehäuse (1) der Vakuumpumpe aufgehängt ist; das Verfahren wird durchgeführt, indem nach der magnetischen Aufhängung des rotierenden Systems der Rotor (6) und das Gehäuse (1) in einen Stromkreis (42) eingeschaltet werden, in dem sich neben einer Stromquelle (43) ein Stromflußindikator (44) befindet; das Prüfungsergebnis wird mit Hilfe des Stromflußindikators (44) festgestellt; vorzugsweise schließt sich an die Überprüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems die Justierung einer Notlaufeinrichtung (33, 34, 36) mit Hilfe des Stromkreises (42) an.</p> |
