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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0750340(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930196299 申请日期 1993.08.06
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KANEKO SATOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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