摘要 |
【課題】X線発生源からの熱による影響を抑制し、熱の影響を受けやすい回路構成部材をX線発熱源と同じ収納空間に配置することを可能としたX線検査装置を提供する。【解決手段】筐体10に、上部収納空間11が設けられ、その内部に冷却容器30に収納されたX線発生源32が設けられている。冷却容器30と放熱器33との間で冷却溶媒がポンプ36の圧力で循環し、冷却容器30の温度上昇が抑制される。上部収納空間11に冷却容器30が設けられているため、上部収納空間11そのものが冷却空間となり、温度が上昇しにくくなる。よって、上部収納空間11に、熱の影響を受けやすい回路構成部材や発熱性の回路構成部材を配置できるようになる。【選択図】図3 |