发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10144789(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960312835 申请日期 1996.11.08
申请人 RICOH CO LTD 发明人 IRINODA MITSUGI;ITO KAZUNORI;ISHIDA MAMORU;UENO YOSHIKAZU;KURODA TAKAHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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