投影光学系统、曝光设备及装置制造方法

摘要

此发明为一种投影光学系统，包括复数个透镜群组，且将第一物体的影像投影至第二物体上。该复数个透镜群组之位于最接近第二物体的底部透镜群组系由具有1.6或更大之折射率的等向性结晶材料所制成，且具有正焦距。底部透镜群组之位于第一物体侧的表面之曲率半径R(mm)及底部透镜群组的中心厚度d(mm)满足3.0＞R/d＞1.6及d＜60。