发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06342762(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19920320154 申请日期 1992.11.30
申请人 PLASMA FUIJIKUSU CORP 发明人 JIYON HOWAADO KOORUMAN
分类号 H01L21/205;H01L31/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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