| 发明名称 |
COOLING APPARATUS FOR SUBSTRATE AND METHOD OF COOLING SUBSTRATE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050118574(A) |
申请公布日期 |
2005.12.19 |
| 申请号 |
KR20040043733 |
申请日期 |
2004.06.14 |
| 申请人 |
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
SEO, BO MIN |
| 分类号 |
G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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