一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法

摘要

本发明涉及一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法，属于微电子技术领域。选取平的硬质衬底和柔性衬底，清洗、吹干、烘干，所述硬质衬底材料为石英片，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺PI、对苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA；衬底粘合，利用粘合材料将硬质衬底和柔性衬底较好地粘合、固定，所述衬底粘合材料为光刻胶。本发明解决了柔性衬底材料在工艺过程中的弯曲、翘曲问题，同时，解决了衬底间产生气泡的问题。保证了柔性衬底在功能材料生长与器件制备过程中的平整度，可以应用于柔性可穿戴电子技术、柔性显示、柔性传感器、柔性太阳能电池等技术领域中。

主权项

一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法，其特征在于包括下列步骤：(一)选取平的硬质衬底和柔性衬底，清洗、吹干、烘干，所述硬质衬底材料为石英片，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺PI、对苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA；(二)衬底粘合，利用粘合材料将硬质衬底和柔性衬底较好地粘合、固定，所述衬底粘合材料为光刻胶；所述衬底粘合包括：将硬质衬底石英片固定在匀胶仪上，在石英片中间位置滴光刻胶，0.2ml—0.5ml，5—10秒后，光刻胶扩散开，再将清洗好的柔性衬底置于光刻胶上面，待石英与柔性材料通过光刻胶全部接触后，启动匀胶仪，转速450—550转/分钟，时间30秒—120秒，使柔性衬底通过光刻胶与硬质衬底紧紧粘合在一起。