发明名称 Photosensitive polyimide composition
摘要 본 발명은 폴리이미드; 감광성 산 발생제; 에폭시기를 갖는 경화제 및 아민계 화합물을 포함하는 포함하는 감광성 폴리이미드 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 감광성 폴리이미드 조성물에 따르면, 낮은 테이퍼 앵글의 패턴을 형성할 수 있고 내화학성이 우수한 폴리이미드 절연막 패턴을 제공할 수 있다.
申请公布号 KR20160149040(A) 申请公布日期 2016.12.27
申请号 KR20150085999 申请日期 2015.06.17
申请人 주식회사 엘지화학 发明人 남규현;박찬효;김경준;김상우;임미라
分类号 G03F7/038;C08G73/10;H01L51/50 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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