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发明名称 MANUFACTURE OF PYROELECTRIC CERAMIC THIN FILM ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0427176(A) 申请公布日期 1992.01.30
申请号 JP19900134213 申请日期 1990.05.25
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;SUZUKI MOTOR CORP 发明人 TORII YASUYOSHI;TSUZUKI AKIHIRO;KANI KEIKO;SEKIYA TADASHI;MURAKAMI HARUHIKO
分类号 C04B41/87;C01G23/00;H01L37/00;H01L37/02;H01L41/187 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
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