| 发明名称 |
REFLECTION PREVENTING PLATE OF CHARGED PARTICLE BEAM AND MANUFACTURE THEREOF, AND CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1092370(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
| 申请号 |
JP19960245357 |
申请日期 |
1996.09.17 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAKAMATSU JUN;OGASAWARA MUNEHIRO;OTOSHI KENJI;EZAWA HIROKAZU |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/305 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
