| 发明名称 | 流体控制装置 | ||
| 摘要 | 提供不必增加设置面积便能够进行充分的加热的流体控制装置。加热装置(3)具有：夹设在基体部件(2)与下段层(5)之间的面状加热器(21)、夹设在上段层(4)的阻断开放器(15、17)和质量流量控制器(16)与加热器(21)之间的用于提高热传导的垫片(22)。 | ||
| 申请公布号 | CN101147018A | 申请公布日期 | 2008.03.19 |
| 申请号 | CN200680009339.1 | 申请日期 | 2006.03.14 |
| 申请人 | 株式会社富士金 | 发明人 | 四方出 |
| 分类号 | F16K49/00(2006.01);F16K27/00(2006.01) | 主分类号 | F16K49/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 季向冈 |
| 主权项 | 1.一种流体控制装置，由具有多个流体控制机构的上段层和具有多个块状连接部件的下段层构成的管线并列状地配置于基体部件，并且，设有对连接部件以及流体控制机构进行加热的加热装置，其特征在于，加热装置包括：夹设在基体部件与下段层之间的面状加热器；夹设在上段层的至少一个流体控制机构与加热器之间的用于提高热传导的垫片。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||