发明名称 一种臭氧气敏涂层及其制备方法
摘要 本发明公开了一种臭氧气敏涂层的制备方法,以纳米TiO<sub>2</sub>掺杂的WCl<sub>6</sub>溶液作为喷涂原料,经火焰喷涂工艺,将喷涂原料喷涂沉积到基体上,得到厚度为200~1500nm的臭氧气敏涂层;纳米TiO<sub>2</sub>至少包含锐钛矿型纳米TiO<sub>2</sub>。本发明公开了一种臭氧气敏涂层的制备方法,采用火焰喷涂工艺,直接喷涂溶液制备得到具有多孔微纳米结构的TiO<sub>2</sub>‑WO<sub>3</sub>纳米复合涂层,该涂层对臭氧气体的灵敏度高;相较于等离子喷涂工艺,该喷涂工艺具有操作简单,流程少,且成本低的优点,可以实现大规模工业化生产。
申请公布号 CN105755420A 申请公布日期 2016.07.13
申请号 CN201610196699.2 申请日期 2016.03.31
申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明人 黄晶;龚永锋;所新坤;周平;刘奕;李华
分类号 C23C4/129(2016.01)I;C23C4/11(2016.01)I 主分类号 C23C4/129(2016.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人 刘诚午
主权项 一种臭氧气敏涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:以纳米TiO<sub>2</sub>掺杂的WCl<sub>6</sub>液相前驱体作为喷涂原料,经火焰喷涂工艺,将喷涂原料喷涂沉积到基体上,得到厚度为200~1500nm的臭氧气敏涂层;所述的纳米TiO<sub>2</sub>至少包含锐钛矿型纳米TiO<sub>2</sub>。
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