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发明名称 Plasmabehandlungskammer und Verfahren zur Behandlung der Substraten in einer Plasmabehandlungskammer
摘要
申请公布号 DE69501222(D1) 申请公布日期 1998.01.29
申请号 DE19956001222 申请日期 1995.03.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 DORNFEST, CHARLES N., FREMONT, CA 94538, US;WHITE, JOHN, HAYWARD, CA 94541, US;BERCAW, CRAIG, SUNNYVALE, CA 94086, US;TOMOZAWA, STEVE, SAN JOSE, CA 95129, US;FODOR, MARK, LOS GATOS, CA 95032, US
分类号 B01J19/00;B01J19/08;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
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