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Durch die vorgeschlagene Erfindung kann erreicht werden, dass Partikel, die in die Kammer des mikromechanischen Sensors eingedrungen sind, durch die Schwingungen des variablen Bereichs sowohl aus der Kammer als auch aus dem Zugang entfernt werden. So kann sich beispielsweise Kondenswasser, welches entlang des Kanals bei entsprechender Stellung des Sensors bzw. bei entsprechender Geometrie des Kanals herausfließen kann, am Ende des Kanals als Tropfen festsetzen. Wird nun dieses Ende des Kanals in Schwingungen versetzt, so werden die am Sensoreinlasskanal hängenden Flüssigkeitstropfen mechanisch abgeschüttelt. Diese mechanische Bewegung kann durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung eines Teils des Kanals als aktiver Abschlussrüssel des Sensorzugangskanals erreicht werden. Als Erweiterung kann eine Anregung durch eine Anregungseinheit vorgesehen sein, die bspw. mittels eines Piezoelementes und/oder einer Ultraschallerzeugungseinheit die Feuchtigkeit, die sich am Rand des variablen Bereichs angesammelt hat, als fein verteilter Feuchtigkeitsnebel wegnebelt.
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