发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0371620(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890207269 申请日期 1989.08.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KURAMATA AKITO
分类号 H01L21/205;H01L31/10 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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