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发明名称
AN APPARATUS FOR GROWING A SINGLE CRYSTAL
摘要
실시 예에 따른 단결정 성장 장치는 챔버, 상기 챔버 내부에 배치되고, 단결정 성장 원료인 용융액을 수용하는 도가니, 상기 도가니와 상기 챔버의 측벽 사이에 배치되고, 상기 도가니를 가열하는 발열체, 및 상기 도가니와 이격하며, 상기 발열체를 밀폐하도록 감싸는 발열체 차폐부를 포함한다.
申请公布号
KR101651964(B1)
申请公布日期
2016.08.30
申请号
KR20140152064
申请日期
2014.11.04
申请人
주식회사 엘지실트론
发明人
황정하
分类号
C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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