| 发明名称 | 激光退火方法 | ||
| 摘要 | 采用具有简正分布型或类似的光束分布的线性脉冲激光束光照硅膜，使非晶形硅膜结晶中，线性脉冲激光束以一种叠加方式作用，可以取得类似于采用激光照射功率以阶跃方式多次扫描中逐步增加然后下降的方法所取得的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN1137171A | 申请公布日期 | 1996.12.04 |
| 申请号 | CN96105598.7 | 申请日期 | 1996.02.02 |
| 申请人 | 株式会社半导体能源研究所 | 发明人 | 楠本直人;田中幸一郎 |
| 分类号 | H01L21/324 | 主分类号 | H01L21/324 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 萧掬昌;马铁良 |
| 主权项 | 1.一种激光退火方法。包括下述步骤：使脉冲激光束成形为线性激光束：在对物体用激光束在一个方向进行相对扫描时把线性脉冲激光束作用至光照物体上。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||