| 发明名称 |
Improved resolution confocal microscope, and device fabrication method using same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0410634(B1) |
申请公布日期 |
1995.12.20 |
| 申请号 |
EP19900307847 |
申请日期 |
1990.07.18 |
| 申请人 |
AT&T CORP. |
发明人 |
FELDMANN, MARTIN;SIMPSON, PRINCESS ELAINE |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/02;G02B21/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G02B21/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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