发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING FILMS FOR HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTORS IN INTEGRATED VACUUM PROCESS
摘要
申请公布号 RU2055421(C1) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 SU19915013361 申请日期 1991.10.21
申请人 INSTITUT KIBERNETIKI IM.V.M.GLUSHKOVA AN UKRAINY 发明人 POLISHCHUK ALLA SEMENOVNA
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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