发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING FILMS FOR HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTORS IN INTEGRATED VACUUM PROCESS |
摘要 |
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申请公布号 |
RU2055421(C1) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
申请号 |
SU19915013361 |
申请日期 |
1991.10.21 |
申请人 |
INSTITUT KIBERNETIKI IM.V.M.GLUSHKOVA AN UKRAINY |
发明人 |
POLISHCHUK ALLA SEMENOVNA |
分类号 |
H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
H01L39/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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