发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08321591(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19950152379 申请日期 1995.05.26
申请人 SONY CORP 发明人 UMEBAYASHI HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/320;H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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