发明名称 Verfahren zur Justage und zur Belichtung eines Halbleiterwafers
摘要
申请公布号 DE10248224(B4) 申请公布日期 2005.08.04
申请号 DE2002148224 申请日期 2002.10.16
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ROESSIGER, MARTIN;STAECKER, JENS;SCHEDEL, THORSTEN
分类号 H01L23/544;(IPC1-7):G03F9/00;G03F7/20 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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