Verfahren zur Ausbildung von Strukturierungen an Oberflächen eines Bauteils

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ausbildung von Strukturierungen an Oberflächen eines Bauteils. Dabei wird auf eine zu strukturierende Oberfläche eine Beschichtung aufgebracht und anschließend mit lokal definiertem Energieeinträgen eine lokal definierte Modifizierung des Beschichtungswerkstoffes ohne Abtrag von Beschichtungswerkstoff erreicht. Durch die Modifizierung in der Beschichtung werden lokale Veränderungen der Dichte und damit lokale Veränderungen der Schichtdicke der Beschichtung und/oder lokale Veränderungen der elektrischen Leitfähigkeit erreicht. Im Falle der lokalen Veränderungen der Schichtdicke werden die Strukturierungen aus den Unterschieden in der Schichtdicke der Beschichtung mit oder ohne Aufbringen einer weiteren metallischen Schicht auf die Beschichtung herausgebildet, und im Falle der lokalen Veränderungen der elektrischen Leitfähigkeit werden die Strukturierungen durch Aufbringen einer weiteren metallischen Schicht auf die Beschichtung herausgebildet, wobei die Schichtabscheidung der metallischen Schicht überwiegend im Bereich höherer elektrischer Leitfähigkeit erfolgt. Die Strukturierungen weisen Strukturperioden von 80 nm bis 5000 nm auf.