WAFER PROCESSING CLUSTER TOOL BATCH PREHEATING AND DEGASSING METHOD AND APPARATUS.

摘要

Outil multiposte de traitement de plaquettes (10) doté d'un ou plusieurs modules de chargement-verrouillage (32, 34) qui comporte un ou plusieurs modules de préchauffage de lots (42, 44) recevant des plaquettes uniquement du module de transport de l'outil multiposte (12, 14) à la pression de vide interne de la machine. Le chargement, le déchargement, la manipulation et le traitement des plaquettes dans la machine peuvent avoir lieu pendant que d'autres plaquettes sont préchauffées. Le module de préchauffage comporte un panier mobile verticalement (64) et est chargé de lots de tailles différentes de plaquettes, sans position vacante entre eux. Des écrans de protection en forme de plaquette peuvent être placés de manière adjacente aux plaquettes inférieure et supérieure afin de permettre à ces dernières de chauffer de la même manière que les autres plaquettes du panier. Des lampes à infrarouges (90) placées à l'extérieur de fenêtres en quartz (60) chauffent les plaquettes présentes dans le module de préchauffage. Le panier peut tourner afin d'améliorer l'uniformité de chauffage. Des capteurs de température (93, 94) tels que des pyromètres, qui ne sont pas en contact avec des plaquettes préchauffées, mesurent la température afin de commander le chauffage des lampes.