发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09210821(A) |
申请公布日期 |
1997.08.15 |
申请号 |
JP19960014189 |
申请日期 |
1996.01.30 |
申请人 |
FUJIKURA LTD |
发明人 |
HASHIMOTO MIKIO;NAGANO RIYOUJI |
分类号 |
G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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