发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11317518(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19980122537 申请日期 1998.05.01
申请人 SONY CORP 发明人 YONEDA SHUJI
分类号 H01L21/74;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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