发明名称 PROCESS FOR FORMING ARRAYED FIELD EFFECT TRANSISTORS HIGHLY INTEGRATED ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR950014540(B1) 申请公布日期 1995.12.05
申请号 KR19910011836 申请日期 1991.07.12
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 SHIROTA, RIICHIRO;MOMODOMI, MASAKI;NIKAYAMA, RYOZO;ARITOME, SEIICHI;KIRISAWA, RYOUHEI;ENDOH, TETSURO;WATANABE, SHIGEYOSHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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