发明名称 在排列膜上形成多区域的方法以及相关产品和制造设备
摘要 本发明公开了一种形成用于排列液晶的多区域的方法,以及相关产品和制造设备,该方法包括:在衬底上形成排列膜;用沿着第一方向照射的原子束扫描排列膜,从而在第一排列膜的第一区内形成第一区域;以及,用沿着第二方向照射的原子束扫描排列膜,从而在第一排列膜的第二区内形成第二区域。由此,通过非接触法形成了多区域,使得用于制造多区域的工艺数量和时间都减小了。
申请公布号 CN1538225A 申请公布日期 2004.10.20
申请号 CN200310118838.2 申请日期 2003.11.28
申请人 三星电子株式会社 发明人 秋大镐;金学珍;金烘均;郑焕暻;李凤雨
分类号 G02F1/1337;G02F1/1333 主分类号 G02F1/1337
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种形成用于排列液晶的多区域的方法,包括:在衬底上形成排列膜;用沿着第一方向照射的原子束扫描排列膜,从而在第一排列膜的第一区内形成第一区域;以及用沿着第二方向照射的原子束扫描排列膜,从而在第一排列膜的第二区内形成第二区域。
地址 韩国京畿道