退火装置

摘要

本发明提供一种退火装置，其包括一退火腔室，其中容纳待处理之板形构件，一支撑框架，其用于水平对准且以一多级方式将该等板形构件垂直堆叠于该退火腔室中，及一热空气单元，其用于将热空气供应至在一垂直方向上分割为复数个部分之该支撑框架以使用该热空气处理该等板形构件。因为该复数个待处理之板形构件可以最小温度偏差退火，所以可能增加板形构件之退火均一性且改良产量及良率。