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发明名称 FORMATION OF MICRO PATTERN OF HIGH TEMPERATURE SUPERCONDUCTIVE MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH04275415(A) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 JP19910119582 申请日期 1991.03.01
申请人 UBE IND LTD 发明人 MORI KATSUMI;OKAMURA SOICHIRO
分类号 H01L21/027;H01L39/24 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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